产品描述
倒勾形探针是专为3D测量设计的。
由于从针尖的特殊倒勾形状，使得样品的垂直结构的侧壁都可以测量到，即使是往坡度小于90的都可以。针尖几何尺寸的紧凑控制，确保在制造环境中可靠的测量。
和TeamNanoTec的所有探针一样，这个针尖的计量型的圆柱形探针都是由单晶硅制成。针尖的磨损以及寿命取决于针尖与样品之间材料的结合。为了计算这个，Team NanoTec提供了倒勾形探针，由单晶硅或者有导电碳涂层的制成的。
TeamNanoTec提供了广泛的针尖直径范围，从最小20nm到850nm的直径均有。每个直径结合不同的探针长度，确保探针的参数适合各种不同应用的要求。
● 所有探针在装包前均通过扫描电子显微镜的检查和测量。
● 所有悬臂都有铝涂层，没有涂层，或者特殊涂层。
● 所有探针在发运前都要通过SEM进行质量检查。（可以要求SEM照片）。
● 每个包装5根探针。
此款探针广泛应用于Veeco公司的X-3D和Insight-Systems中。
典型的应用例子：
1， 边壁的粗糙度；
2， 坡度；
3， 沟槽的深度；
4， 台阶高度。
技术数据
Technical Data
|
Value
|
Range
|
Force Constant
|
40N/m
|
-
|
Resonance Frequency
|
300 kHz
|
-
|
Length
|
125µm
|
±
15µm
|
Width(rectangular part)
|
35 µm
|
±
3µm
|
Thickness
|
3.0 µm
|
2.5
- 3.5
|
Shape / Cross-section
|
-
|
Number of Cantilevers
|
1
|
Material
|
Single
Crystal Silicon, Highly Doped
|
Chip Size
(industry standard)
|
3.4
mm×1.55 mm×0.32 mm
|
Coating (optional)
|
Aluminum
reflex ( ~ 30 nm thick, non-tip side )
|
订购型号
Probe Model
|
Shape
|
Tip Width(nm)
|
Overhang(nm)
|
Effective Length(nm)
|
VEH(nm)
|
Price
(RMB)
|
Note
|
Min
|
Max
|
Min
|
Max
|
Min
|
Max
|
Typ
|
Typ
|
CDR850
(125C40-R)
|
round
|
650
|
850
|
100
|
150
|
5000
|
7500
|
6250
|
-
|
询价
|
5pcs
|
CDR300
(125C40-R)
|
round
|
200
|
300
|
13
|
25
|
1000
|
1500
|
1250
|
-
|
询价
|
5pcs
|
CDR130C
|
round
|
100
|
130
|
15
|
20
|
500
|
700
|
600
|
-
|
询价
|
5pcs
|
CDR130S
(125C40-R)
|
round
|
110
|
140
|
13
|
25
|
250
|
350
|
300
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR130SC
(125C40-R)
|
round
|
110
|
140
|
13
|
25
|
250
|
350
|
300
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR120
(125C40-R)
|
round
|
90
|
120
|
5
|
15
|
500
|
700
|
600
|
15
|
询价
|
5pcs
|
SO_ CDR120 (125C40-R)
|
round
|
90
|
120
|
5
|
15
|
500
|
700
|
600
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR70
|
round
|
57
|
70
|
5
|
11
|
450
|
550
|
500
|
15
|
询价
|
5pcs
|
SO_CDR70 (125C40-R)
|
round
|
57
|
70
|
5
|
11
|
450
|
550
|
500
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR70S
(125C40-R)
|
round
|
57
|
70
|
5
|
11
|
350
|
450
|
400
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR50S
(125C40-R)
|
round
|
40
|
50
|
5
|
8
|
190
|
260
|
225
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR50SC
(125C40-R)
|
round
|
40
|
50
|
5
|
8
|
190
|
260
|
225
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR60
|
round
|
50
|
60
|
5
|
8
|
180
|
220
|
200
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR50
|
round
|
40
|
50
|
5
|
8
|
250
|
350
|
300
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR50C
|
round
|
40
|
50
|
5
|
8
|
250
|
350
|
300
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR32
|
round
|
27
|
32
|
3
|
5
|
180
|
220
|
200
|
12
|
询价
|
5pcs
|
CDR32C
|
round
|
27
|
32
|
3
|
5
|
180
|
220
|
200
|
12
|
询价
|
5pcs
|
CDR32S
|
round
|
27
|
32
|
3
|
5
|
130
|
180
|
155
|
12
|
询价
|
5pcs
|
CDR32S
C
|
round
|
27
|
32
|
3
|
5
|
130
|
180
|
155
|
12
|
询价
|
5pcs
|
|
CDR32S-CX
|
round
|
27
|
32
|
3
|
5
|
180
|
220
|
200
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CDR20S-CX
|
round
|
15
|
20
|
2
|
5
|
120
|
180
|
150
|
10
|
询价
|
5pcs
|
|
CD130
|
square
|
90
|
130
|
5
|
15
|
700
|
900
|
800
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CD100
|
square
|
80
|
100
|
5
|
15
|
600
|
800
|
700
|
15
|
询价
|
5pcs
|
CD75
|
square
|
60
|
75
|
5
|
8
|
500
|
700
|
600
|
15
|
询价
|
5pcs
|
|
CDF130
|
triabgular
|
105
|
130
|
13
|
25
|
300
|
400
|
350
|
10
|
询价
|
5pcs
|
CDF100
|
triabgular
|
80
|
100
|
5
|
15
|
250
|
350
|
300
|
10
|
询价
|
5pcs
|
CDF100
C
|
triabgular
|
80
|
100
|
5
|
15
|
250
|
350
|
300
|
10
|
询价
|
5pcs
|
|
RCD22
|
rectangular
|
19
|
22
|
2
|
5
|
100
|
150
|
120
|
5
|
询价
|
5pcs
|
|
Silicon
probes with Si3N4 cap
|
CDT850
|
triabgular
|
700
|
850
|
150
|
250
|
1200
|
1700
|
1500
|
40
|
询价
|
5pcs
|
CDT400SiN
|
triabgular
|
320
|
400
|
50
|
80
|
600
|
800
|
700
|
40
|
询价
|
5pcs
|
CDT130SiN
|
round
|
110
|
140
|
20
|
35
|
250
|
350
|
300
|
15
|
询价
|
5pcs
|
|
