产品描述:
大长径比-非接触/轻敲模式-高共振频率 NANOSENSORS AR-NCH 系列AFM探针,是专为非接触模式和轻敲模式测量设计的。该探针具有高度的稳定性,高灵敏度及高速扫描的能力。
NANOSENSORS 为测量侧壁角度接近于90 °的样品而专门设计了AR-NCH系列探针,这些针尖是采用聚焦离子束(FIB)切割而成的,让硅针尖端部长径比优于5:1,或10:1。这种生产方式生产的大长径比针尖具有很高的横向刚性和硬性。
在有倾斜补偿角度的型号里面,针尖末端2μm沿着悬臂轴有13 °的倾斜,这样可以补偿AFM系统(通常有13°倾斜)所造成的悬臂倾斜角度,是对侧壁几乎是直角的样品可以进行对称性的扫描。
该探针独特的功能:
● 具有大长径比的针尖长度> 2 μm(5:1), > 1.5 μm (10:1)
● 在针尖末端的2 μm内长径比为7:1或1.5 μm内长径比为12:1((沿着悬臂轴)
● 可选大长径比的部分沿着悬臂轴有13°的夹角
● 在针尖末端的2 μm内大长径比的部分半锥角< 5°(5:1)或1.5 μm内大长径比的部分半锥角< 2.8°(10:1)
● 保证针尖的曲率半径< 15 nm
● 高掺杂材质使得悬臂防静电
● 高机械品质Q因子以及高灵敏度
反射涂层是在悬臂的反射面上加上了一层约30nm厚的铝涂层,从而增强了激光束的反射率2.5倍。此外还可以防止悬臂的光干涉。悬臂弯曲度小于2度。
应用范围:
测量侧壁角度接近于90 °的样品。
技术数据:
Technical Data
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Value
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Range
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Force Constant
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42N/m
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10
- 130
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Resonance Frequency
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330 kHz
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204
- 497
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Length
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125µm
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115
- 135
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Width(rectangular part)
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30 µm
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22.5
- 37.5
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Thickness
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4 µm
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3.0
- 5.0
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Shape / Cross-section
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Rectangular / Trapezoidal
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Number of Cantilevers
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1
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Tip Offset
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14
- 16 µm
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Tip Style
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Pyramidal
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Tip Height
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10-15
µm
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Tip Radius
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<15
nm
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Spike Tilt
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0°or
13° available
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Spike Length (SL)
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>2 µm(5:1),>1.5µm(10:1)
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Spike Width at base (SW)
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Spike Aspect Ratio
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5:1,10:1
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Material
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Single
Crystal Silicon, Highly Doped
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Chip Size
(industry standard)
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Coating (optional)
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Aluminum
reflex ( ~ 30 nm thick, non-tip side )
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