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电性测量探针要求探针能够连通形成一个回路。而且都需要反射涂层来提高灵敏度。
涂层通常为金属铂,以及其他能够改善与单晶硅针尖粘连性质以及涂层硬度的金属。金属铱以及金属铬是最常用到的金属。
导电原子力显微镜探针是基于接触,力调制,轻敲等的探针悬臂加工而成的。一般而言,
● 导电接触探针通常用于SSR(扩散电阻)。
● 导电力调制探针通常用于静电力显微镜。
● 导电轻敲探针通常用于开尔文显微镜。
● 同时也提供导电金刚石探针。
有时,针尖镀金的AFM探针也会用于电性测量的AFM应用当中。(请参见 镀金AFM探针)
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