产品描述:
● 钝针尖悬臂是在 NANOSENSORS 硅探针的基础上得到的。悬臂末端的针尖为钝的针尖。钝针尖是用聚焦离子束刻蚀的具有对称性的圆锥形。
● NanoSensors PL2-FM/ PL2-FMR是专为力调制模式设计的。这款探针的力常数居于接触与非接触模式探针之间,是专为力调制模式的要求而特制的。此外,该探针可用于非接触/轻敲模式成像,但是稳定性会有所减弱。
● 可根据要求定制的大直径的钝针尖。其他形状也可以根据要求定制。
该探针有独特的功能:
- 典型的钝针尖直径1.8微米
- 单晶硅
- 高掺杂材质使得悬臂防静电
- 化学惰性
- 高机械品质Q因子以及高灵敏度
- 探针基片背面有对准凹槽
- 与对准芯片联用针尖对准的精确度小于+/- 2 μm
- 可与PointProbe Plus XY-Alignment 对准芯片联用
应用范围:
力调制模式,接触模式或轻敲模式。
悬臂数据:
Technical Data
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Value
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Range
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Force Constant
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2.8N/m
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0.5
– 9.5
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Resonance Frequency
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75 kHz
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45
- 115
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Length
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225µm
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215
- 235
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Width(rectangular part)
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28 µm
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20
- 35
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Thickness
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3 µm
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2.0
- 4.0
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Shape / Cross-section
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Rectangular / Trapezoidal
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Number of Cantilevers
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1
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Tip Style
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Plateau
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Plateau diameter (measured at a distance of 100nm from the
end-face)
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1.8±0.5µm
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Plateau
rod height
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>2.0µm
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Plateau
edge radius
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0.2-0.4µm
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Tip
height (overall)
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10-15µm
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Material
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Single
Crystal Silicon, Highly Doped
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Chip Size
(industry standard)
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Coating (optional)
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Without
or Reflex
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