产品描述:
SuperSharpSilicon - 精工显微镜-非接触模式/轻敲模式-高力常数-铝反射涂层NANOSENSORS SSS-SEIH/SSS-SEIHR是专为精工仪器非接触模式和轻敲模式设计的AFM探针。相比于ZEIH探针,力常数减少得更多。该探针是专为为测试纳米结构以及微小的粗糙度而提供的。
反射涂层是在悬臂的反射面上加上了一层约30nm厚的铝涂层,从而增强了激光束的反射率2.5倍。此外还可以防止悬臂的光干涉。悬臂弯曲度小于2度。
该探针独特的功能:
● 保证针尖的曲率半径<5 nm
● 2纳米的典型针尖曲率半径
● 在针尖的顶点200纳米以内典型的4:1长宽比
● 在顶点200纳米内半锥角<10 °
● 高掺杂材质使得悬臂防静电
● 高机械品质Q因子以及高灵敏度
● 探针基片背面有对准凹槽
● 与对准芯片联用针尖对准的精确度小于+/- 2 μm
● 可与PointProbe Plus XY-Alignment 对准芯片联用
应用范围:
该探针是专为测试纳米结构以及微小的粗糙度而提供的。
技术数据:
Technical Data |
Value |
Range |
Force Constant |
15N/m |
5
- 37 |
Resonance Frequency |
130 kHz |
96
- 175 |
Length |
225µm |
215
- 235 |
Width(rectangular part) |
33 µm |
30
- 45 |
Thickness |
5 µm |
4.0
- 6.0 |
Shape / Cross-section |
Rectangular / Trapezoidal |
Number of Cantilevers |
1 |
Tip Offset |
14
- 16 µm |
Tip Style |
Pyramidal |
Tip Height |
10-15
µm |
Tip Radius |
2nm,<5
nm |
Tip Aspect Ratio |
typical
aspect ratio at 200 nm from tip apex in the order of 4:1 |
Material |
Single
Crystal Silicon, Highly Doped |
Chip Size
(industry standard) |
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Coating (optional) |
Aluminum
reflex ( ~ 30 nm thick, non-tip side ) |
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