IFSR 100-Team NanoTec的针尖表征样品—锐利的悬垂边缘的线形的表征
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产品描述

      ● 探针针尖检测样品是用于检查针尖的形状和尺寸。
      ● 每个空室都有编号,有助于在相同的位置进行校准。

      ● Layout: 88 cells
      ● on 1 x 1 mm area,
      ● on 6 x 6 mm silicon chip

      ● IFSR是一个具有锐利的悬垂边缘的线形样品。




Specifications:

 

Material:

Silicon

Width of line:

2 to 2.5 µm

Depth of line:

> 4 µm

Overhang:

> 250 nm

Overhang slope angle:

35°

Toy corner radius

<10 nm

Edge roughness:

<10 nm

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www.team-nanotec.de



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