产品描述:
● 探针针尖检测样品是用于检查针尖的形状和尺寸。
● 每个空室都有编号,有助于在相同的位置进行校准。
● Layout: 88 cells
● on 1 x 1 mm area,
● on 6 x 6 mm silicon chip
● IFSR是一个具有锐利的悬垂边缘的线形样品。
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Specifications: |
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Material: |
Silicon |
Width of line: |
2 to 2.5 µm |
Depth of line: |
> 4 µm |
Overhang: |
> 250 nm |
Overhang slope
angle: |
35° |
Toy corner radius |
<10 nm |
Edge roughness: |
<10 nm |
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