产品描述：
● 探针针尖检测样品是用于检查针尖的形状和尺寸。
● 每个空室都有编号，有助于在相同的位置进行校准。
● Layout: 88 cells; on 1 x 1 mm area,on 6 x 6 mm silicon chip
● IVPS是一个具有垂直线，平行侧壁的样品。
Specifications:
Material:
Silicon
Width of line:
0.8μm ± 15%
Depth of line:
1 μm ± 15%
Surface/siderwall angle:
<90° ± 0.5°
Sidewall parallelityL
<1°
Toy corner radius
<10 nm
Edge roughness:
<5nm
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IVPS1.0
1
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