产品描述：
标准（2D200）用于一个非常精确的量X-Y-扫描机制的校准。该标准为间距为200nm的二维的横向的阵列，倒金字塔晶格形状，蚀刻在硅晶片上。
PTB校准证书（德国联邦物理技术），只在特殊的要求提供。
NanoSnesors与PTB的合同可以定制。
特点：
- 200纳米间距
- 高精度
产品规格：
芯片
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基片尺寸
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5 x 7 mm²
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有效位置
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100 x 100 µm²
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有效位置位于芯片的中心，有辅助定位结构包围，倒金字塔的晶格组成有效位置。
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晶格
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间距
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100 nm
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金字塔的位置精度
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10 nm
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间距精度(10x10
µm² scan)
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0.1%
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间距精度(100x100
µm² scan)
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±0.01%
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金字塔结构
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正方形金字塔边长
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approx. 50 nm
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侧壁角度（与芯片表面）
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54.7°
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侧壁角度精度
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0.5
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金字塔深度
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approx. 35 nm
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订购型号：
Order Code |
Quantity |
Price |
2D200 |
1 |
询价 |
2D200-CERT |
1 |
询价 |
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